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标题
Process Extension Techniques for Optical Lithography: Thermal Treatment, Polarization and Double Patterning
相关领域
多重图案 材料科学 平版印刷术 极化（电化学） 光电子学 热的 光学 过程（计算） 极紫外光刻 纳米技术 抵抗 计算机科学 物理 气象学 化学 物理化学 操作系统 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.51.1413
DOI
10.3938/jkps.51.1413 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：Sang-Kon Kim; Hye-Keun Oh
出版日期：2007-10-15
求助人
重组聚合酶扩增 在 2025-10-27 10:26:11 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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