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标题
EPL performance in 65-nm node metallization technology and beyond
65纳米节点金属化技术及其他技术中的EPL性能
相关领域
抵抗 材料科学 制作 平版印刷术 铜互连 图层（电子） 光电子学 扫描电子显微镜 节点（物理） 透射电子显微镜 纳米技术 复合材料 工程类 医学 结构工程 病理 替代医学
网址
https://doi.org/10.1117/12.599257
DOI
10.1117/12.599257 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Fumihiro Koba; Takahiro Tsuchida; Hiromu Sakaue; Kyohei Koike; Joyce Hisae Yamamoto; et al
出版日期：2005-05-06
求助人
科研小白 在 2025-10-27 08:37:14 发布自四川，悬赏 20 积分
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