Preparation of SiON film by plasma enhanced chemical vapor deposition and passivation on Si

已关闭

文献求助详情

标题	Preparation of SiON film by plasma enhanced chemical vapor deposition and passivation on Si 相关领域钝化材料科学薄脆饼等离子体增强化学气相沉积折射率化学气相沉积退火（玻璃）硅光电子学体积流量沉积（地质）分析化学（期刊）复合材料图层（电子）化学古生物学物理沉积物生物量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.7498/aps.63.128102
DOI	10.7498/aps.63.128102 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：He Su-Ming; Dai Shan-Shan; Xiangdong Luo; Bo Zhang; Wang Jin-Bin 出版日期：2014-01-01
求助人	1111111 在 2025-10-13 18:45:56 发布自陕西，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

9小时前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
5天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

18:45:59 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

18:45:57 科研通AI机器人（美国洛杉矶）收到请求，开始寻找文献

18:45:56 已向机器人发送请求
5天前

1111111 Lv3 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 隐形曼青的应助被孟繁荣采纳，获得10

4秒前; 科研通AI5上传了应助文件

11秒前; 隐形曼青上传了应助文件

15秒前; chenzhikang发布了新的文献求助50

18秒前; 孟繁荣发布了新的文献求助10

22秒前; GPTea给szc的求助进行了留言

35秒前; 鹏笑完成签到，获得积分10

37秒前; 李爱国的应助被孟繁荣采纳，获得10

38秒前; 丘比特的应助被Mr采纳，获得10

53秒前; 丘比特上传了应助文件

58秒前; 西山菩提完成签到，获得积分10

59秒前; 情怀上传了应助文件

1分钟前; Mr发布了新的文献求助10

1分钟前; lc发布了新的文献求助10

1分钟前; GPTea上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI6的应助被lc采纳，获得10

1分钟前; Vintoe完成签到，获得积分10

1分钟前; KINGAZX完成签到，获得积分10

2分钟前; GPTea上传了应助文件

2分钟前; GingerF的应助被bruna采纳，获得50

2分钟前; GPTea上传了应助文件

2分钟前; 科研通AI5上传了应助文件

2分钟前; 量子星尘发布了新的文献求助30

2分钟前; orixero上传了应助文件

3分钟前; xaogny发布了新的文献求助10

3分钟前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

3分钟前; 李爱国上传了应助文件

3分钟前; 无端发布了新的文献求助10

4分钟前; 孟繁荣发布了新的文献求助10

4分钟前; 鸭鸭完成签到，获得积分10

4分钟前; Robin完成签到，获得积分10

4分钟前; 小马甲的应助被孟繁荣采纳，获得10

4分钟前; qc的应助被萝卜猪采纳，获得10

4分钟前; Criminology34上传了应助文件

4分钟前; 科研通AI6上传了应助文件

4分钟前; 赘婿的应助被xaogny采纳，获得10

5分钟前; 萝卜猪完成签到，获得积分10

5分钟前; lc发布了新的文献求助10

5分钟前; GPTea上传了应助文件

5分钟前; 赘婿上传了应助文件

5分钟前