Low temperature growth of single-phase and preferentially oriented ɛ-Ga2O3 films on sapphire substrates via atomic layer deposition - 科研通

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标题	Low temperature growth of single-phase and preferentially oriented ɛ-Ga2O3 films on sapphire substrates via atomic layer deposition 原子层沉积法在蓝宝石衬底上低温生长单相择优取向ɛ-Ga2O3薄膜相关领域原子层沉积蓝宝石图层（电子）材料科学沉积（地质）原子层外延相（物质）逐层光电子学化学工程纳米技术化学光学地质学物理古生物学激光器有机化学工程类沉积物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004048
DOI	10.1116/6.0004048 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Xiangtai Liu; Jiayang Wang; Lu Jin; Jiao Fu; Qin Lu; et al 出版日期：2024-12-09
求助人	爱喝冰可乐在 2025-03-06 21:54:26 发布自河南，悬赏 10 积分
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