Fabrication of TiN metal hard masks via very-high-frequency-direct-current superimposed sputtering

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标题	Fabrication of TiN metal hard masks via very-high-frequency-direct-current superimposed sputtering
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108852
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108852 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Byeong Hwa Jeong; Dong Woo Kim; G.Y. Yeom; Kyong Nam Kim; Kyong Nam Kim 出版日期：2024-08-29
求助人	eisenchen 在 2026-08-22 00:52:05 发布自浙江，悬赏 10 积分
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