Polishing of CVD Diamond for Direct Bonding Using Ar and SF6-Gas Cluster Ion Beams

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标题	Polishing of CVD Diamond for Direct Bonding Using Ar and SF6-Gas Cluster Ion Beams
网址	http://dx.doi.org/10.1109/icsj59341.2023.10339595
DOI	10.1109/icsj59341.2023.10339595 doi
其它	期刊：2023 IEEE CPMT Symposium Japan (ICSJ) 作者：Junsha Wang; Hideaki Yamada; Tadatomo Suga; Yoshiaki Mokuno 出版日期：2023-11-15
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