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标题	Study on improving the polishing efficiency and quality of Ga-faced GaN based on sol-gel polishing pad
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2025.112955
DOI	10.1016/j.diamond.2025.112955 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：Kai Chen; Jing Lu; Congming Ke; Shengtong Xu; Jinlei Li; et al 出版日期：2025-12-01
求助人	dsw 在 2026-07-07 16:04:38 发布自四川，悬赏 10 积分
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