Characterization of structural and mechanical properties of DLC films deposited on the surface of minute-scale 3D objects: Comparison of PECVD and FCVA deposition technique

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标题	Characterization of structural and mechanical properties of DLC films deposited on the surface of minute-scale 3D objects: Comparison of PECVD and FCVA deposition technique
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2023.129401
DOI	10.1016/j.surfcoat.2023.129401 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Yuki Hirata; Kotaro Kawai; Toyohiro Kato; Hayata Fujimoto; Yuto Tameno; et al 出版日期：2023-03-09
求助人	shawn 在 2026-08-28 16:21:33 发布自广东，悬赏 10 积分
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