The study on the effect of pattern density distribution on the STI CMP process

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标题	The study on the effect of pattern density distribution on the STI CMP process
网址	http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.4998394
DOI	10.1063/1.4998394 doi
其它	期刊：AIP Conference Proceedings 作者：Yoon Myung Sub; Bernard Yap Tzen Hian; Lee It Fong; Philip Menit Anak; Ariffin Bin Minhar; et al 出版日期：2017-08-09
求助人	快乐大炮在 2026-03-26 10:20:48 发布自天津，悬赏 10 积分
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