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 Effect of Antenna-Substrate Distance on Quality of a-Si:H During ICP CVD Using a Flat Spiral Antenna 相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Plasma Science 作者：Partha Karar; Gourav Kumar; Nilesh Wadibhasme; D. S. Patil; Rajiv O. Dusane 出版日期：2020-08-04 |
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(2025-6-4)
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