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标题
The novel TiN film prepared by high-performance metal hardmask PVD system for 28/20 nm technology node
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7458471/7463893/07464029...
DOI
10.1109/cstic.2016.7464029 doi
其它 期刊：2016 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)
作者：Jianqiang Liu; Junbao Wang; Zhimin Bai; Qiang Li; Zhenguo Ma; et al
出版日期：2016-05-06
求助人
无氧水分子 在 2026-06-01 23:22:24 发布自山东，悬赏 10 积分
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