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 Computational Study of Gas‐Phase and Surface Kinetics in a Clamshell Type Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition Reactor for Diamond Growth 蛤壳式微波等离子体化学气相沉积金刚石反应器气相和表面动力学的计算研究
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期刊：physica status solidi (b) 作者：Akash Akash; Sanjeev Kumar Pandey; Kumaran Naveen Kumar; N. Arunachalam; M. S. Ramachandra Rao 出版日期：2025-12-02 |
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