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标题
Structural Features of Aluminum Nitride Films Obtained by Magnetron Sputtering
磁控溅射氮化铝薄膜的结构特征
相关领域
化学 氮化物 溅射沉积 铝 高功率脉冲磁控溅射 溅射 光电子学 纳米技术 薄膜 有机化学 图层（电子） 材料科学
网址
https://doi.org/10.1134/s0018143924701297
DOI
10.1134/s0018143924701297 doi
其它 期刊：High Energy Chemistry
作者：V. I. Strunin; Б. Т. Байсова; Л. В. Баранова
出版日期：2024-12-01
求助人
zzz 在 2025-12-04 17:39:33 发布自天津，悬赏 10 积分
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