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标题
Fabrication of nanoimprint mold by multilayer film deposition technique
多层膜沉积技术制备纳米压印模具
相关领域
材料科学 制作 纳米压印光刻 电子束光刻 沉积（地质） 反应离子刻蚀 蚀刻（微加工） 抵抗 模具 纳米技术 化学气相沉积 光电子学 电子束物理气相沉积 纳米光刻 聚焦离子束 纳米 平版印刷术 原子层沉积 干法蚀刻 薄膜 复合材料 图层（电子） 离子 量子力学 物理 生物 病理 古生物学 沉积物 替代医学 医学
网址
https://doi.org/10.7498/aps.55.2033
DOI
10.7498/aps.55.2033 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Yongjun Zhang; Wei Li; Meng Xiang-Dong; Yang Jing-hai; Hua Zhong; et al
出版日期：2006-01-01
求助人
babyuer 在 2025-12-06 16:27:23 发布自山西，悬赏 10 积分
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