| 标题 |
 Fabrication of nanoimprint mold by multilayer film deposition technique 多层膜沉积技术制备纳米压印模具
相关领域
材料科学
制作
纳米压印光刻
电子束光刻
沉积（地质）
反应离子刻蚀
蚀刻（微加工）
抵抗
模具
纳米技术
化学气相沉积
光电子学
电子束物理气相沉积
纳米光刻
聚焦离子束
纳米
平版印刷术
原子层沉积
干法蚀刻
薄膜
复合材料
图层（电子）
离子
古生物学
病理
物理
量子力学
生物
替代医学
沉积物
医学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Acta Physica Sinica 作者：Yongjun Zhang; Wei Li; Meng Xiang-Dong; Yang Jing-hai; Hua Zhong; et al 出版日期：2006-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Copyright
GingerF
OK
cdercder
DKJ
无极微光
xjcy
哈哈
pcr163
橙子
做实验的猫
七月流火
潇洒的惋清
xx
sy
leileiz123
飘逸的思烟
乐空思
breathless
学术文献互助
皖公网安备34019202002308
