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标题
Influence of argon/nitrogen sputtering gas and molybdenum/titanium seed layer on aluminium nitride ⟨100⟩ thin film growth using ceramic target
氩/氮溅射气体和钼/钛籽晶层对陶瓷靶生长氮化铝<100>薄膜的影响
相关领域
材料科学 溅射 氩 氮化物 钼 薄膜 溅射沉积 钛 微晶 无定形固体 图层（电子） 氮气 铝 分析化学（期刊） 复合材料 冶金 结晶学 纳米技术 原子物理学 化学 物理 量子力学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2024.01.286
AI链接 doi.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.jmrt.2024.01.286 doi
其它 期刊：Journal of Materials Research and Technology
作者：Muhammad Izzuddin Abd Samad; Syazwani Izrah Badrudin; Darven Raj Ponnuthurai; Marwan Mansor; Nafarizal Nayan; et al
出版日期：2024-02-02
求助人
席慕容 在 2025-12-03 19:29:46 发布自山东，悬赏 10 积分
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