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 氧化铪薄膜的形成条件对异质结构的结构和电物理性能的影响 相关领域
铪
异质结
材料科学
溅射沉积
氧化物
光电子学
硅
溅射
金属
半导体
薄膜
纳米技术
冶金
锆
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