发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Researching the silicon direct wafer bonding with interfacial SiO2layer
含SiO2界面层的硅片直接键合研究
相关领域
等离子体增强化学气相沉积 材料科学 薄脆饼 晶片键合 表面粗糙度 微电子机械系统 阳极连接 复合材料 直接结合 粘结强度 退火（玻璃） 原子力显微镜 硅 粘结强度 表面光洁度 钝化 纳米技术 图层（电子） 光电子学 胶粘剂
网址
https://doi.org/10.1088/1674-4926/37/5/056001
DOI
10.1088/1674-4926/37/5/056001 doi
其它 期刊：Journal of Semiconductors
作者：Xiaoqing Wang; Yude Yu; Jin Ning
出版日期：2016-05-01
求助人
顺利白晴 在 2025-12-07 15:10:33 发布自天津，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. SiO2-SiO2 die-to-wafer direct bonding interface weakening
  2. Wafer bonding : applications and technology
  3. Room-temperature wafer bonding of SiC–Si by modified surface activated bonding with sputtered Si na...
  4. Wafer Level Bonding Technology for 3D Stacked IC
  5. Oxides formation on hydrophilic bonding interface in plasma-assisted InP/Al2O3/SOI direct wafer bond...
  6. Room-temperature Wafer Bonding
  7. From Direct Bonding Mechanism to 3D Applications
  8. Silicon Direct Bonding
  9. Silicon direct bonding
  10. Heterogeneous Wafer Bonding Technologies of III-V Semiconductor to Si Substrates and Applications fo...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 4小时前

    浮游 浮游 Lv1220 上传了文件

    待审核 Wang_2016_J._Semicond._37_056001.pdf (1.74 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 5小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:10:37 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:10:34 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献
    15:10:33 已向机器人发送请求

  • 5小时前

    顺利白晴 顺利白晴 Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
bkagyin的应助被yuan采纳，获得10
1秒前
诸葛一笑完成签到，获得积分20
3秒前
4秒前
5秒前
5秒前
6秒前
8秒前
GGGGD完成签到，获得积分20
8秒前
LAST完成签到，获得积分10
8秒前
9秒前
可可熊发布了新的文献求助10
9秒前
10秒前
unflycn完成签到，获得积分10
10秒前
11秒前
hbq完成签到 ，获得积分20
11秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
12秒前
谜语发布了新的文献求助10
14秒前
柔弱夜梦完成签到 ，获得积分20
14秒前
15秒前
zgw完成签到，获得积分10
16秒前
乾乾完成签到，获得积分10
18秒前
从容映易完成签到，获得积分10
19秒前
20秒前
烟花的应助被小宋采纳，获得10
20秒前
21秒前
永远少年完成签到，获得积分10
23秒前
charint发布了新的文献求助10
24秒前
共享精神的应助被ll采纳，获得10
24秒前
俞事发布了新的文献求助10
25秒前
fsdghert发布了新的文献求助10
29秒前
jason0023发布了新的文献求助10
30秒前
30秒前
Augustin发布了新的文献求助50
31秒前
所所的应助被ira采纳，获得10
31秒前
33秒前
orixero的应助被畅快的觅风采纳，获得10
33秒前
CAt5完成签到，获得积分10
33秒前
34秒前
zhengyalan发布了新的文献求助10
34秒前
36秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Alloy Phase Diagrams 1000
Introduction to Early Childhood Education 1000
2025-2031年中国兽用抗生素行业发展深度调研与未来趋势报告 1000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 901
Item Response Theory 600
Historical Dictionary of British Intelligence (2014 / 2nd EDITION!) 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5425524
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4539563
关于积分的说明 14168635
捐赠科研通 4457118
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2444431
邀请新用户注册赠送积分活动 1435362
关于科研通互助平台的介绍 1412800
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通