Annealing Effect on Mechanical Stress in Reactive Ion-Beam Sputter-Deposited Silicon Nitride Films

已完结

文献求助详情

标题	Annealing Effect on Mechanical Stress in Reactive Ion-Beam Sputter-Deposited Silicon Nitride Films 相关领域材料科学溅射退火（玻璃）硅氮化硅椭圆偏振法离子束折射率薄膜氮化物复合材料溅射沉积光电子学离子图层（电子）纳米技术化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.30.1469
DOI	10.1143/jjap.30.1469 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：A. Fourrier; Alain Bosseboeuf; Daniel Bouchier Daniel Bouchier; G. Gautherin 出版日期：1991-07-01
求助人	欻欻在 2026-01-16 11:25:26 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 尊嘟假嘟上传了应助文件

刚刚; 风趣冬瓜完成签到，获得积分10

1秒前; 虎啊虎啊完成签到，获得积分10

1秒前; Akim上传了应助文件

2秒前; zhengqiyang发布了新的文献求助10

4秒前; cdercder上传了应助文件

5秒前; 小可完成签到，获得积分10

5秒前; 上官若男上传了应助文件

5秒前; 沉默的雪枫上传了应助文件

6秒前; 逗逗发布了新的文献求助10

7秒前; 完美世界上传了应助文件

7秒前; NN的应助被过迁之境采纳，获得10

7秒前; 昔颜完成签到，获得积分10

9秒前; 虎啊虎啊发布了新的文献求助10

9秒前; 气敏侠发布了新的文献求助10

10秒前; zz6532完成签到，获得积分10

10秒前; 许阳发布了新的文献求助30

10秒前; 翻个花生上传了应助文件

11秒前; 科研通AI6.3的应助被YC采纳，获得10

12秒前; 共享精神的应助被ltm采纳，获得10

12秒前; 距破之舞完成签到，获得积分10

13秒前; 木木枭完成签到，获得积分10

13秒前; 赘婿的应助被真实的书雪采纳，获得10

13秒前; 栗早完成签到，获得积分10

14秒前; yuyukeke完成签到，获得积分10

16秒前; 隐形曼青的应助被医海无涯采纳，获得10

16秒前; 气敏侠完成签到，获得积分10

16秒前; 布衣发布了新的文献求助10

16秒前; 英俊的铭上传了应助文件

17秒前; 桐桐的应助被活力鑫磊采纳，获得10

18秒前; 俭朴的若雁完成签到，获得积分10

18秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

18秒前; molihuakai的应助被科研通管家采纳，获得10

18秒前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

18秒前; 情怀的应助被科研通管家采纳，获得10

19秒前; 科目三的应助被科研通管家采纳，获得10

19秒前; dl的应助被科研通管家采纳，获得20

19秒前; 科研通AI6.1的应助被科研通管家采纳，获得10

19秒前; 潇洒的惋清的应助被科研通管家采纳，获得10

19秒前; 积极问晴完成签到，获得积分10

19秒前