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 Atomic layer deposition 原子层沉积
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10.1016/b978-0-12-812311-9.00011-6
Doi
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| 其它 | 作者：Erwin Kessels, Anjana Devi, Jin-Seong Park, Mikko Ritala, Angel Yanguas-Gil & Claudia Wiemer ；期刊卷号：Nature Reviews Methods Primers volume 5, Article number: 66 (2025) |
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