Mid-frequency reactive sputtering of dielectrics: Al2O3

已完结

文献求助详情

标题	Mid-frequency reactive sputtering of dielectrics: Al2O3
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0257-8972(03)00369-4
DOI	10.1016/s0257-8972(03)00369-4 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：A. Belkind; A. Freilich; G. Song; Z. Zhao; R. Scholl; et al 出版日期：2003-09-01
求助人	杨小小在 2026-10-15 15:03:34 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: null关闭了carl的文献求助

1秒前; Heaven完成签到，获得积分10

2秒前; 阿泽完成签到，获得积分10

3秒前; null关闭了忧郁雁卉的文献求助

3秒前; Heaven发布了新的文献求助10

5秒前; null关闭了海棠的文献求助

6秒前; null关闭了谦让的砖头的文献求助

8秒前; null关闭了小孟同学的文献求助

11秒前; null关闭了liiiii的文献求助

13秒前; null关闭了谦让的砖头的文献求助

16秒前; null关闭了mengzi921024的文献求助

18秒前; MchemG完成签到，获得积分0

20秒前; null关闭了mengzi921024的文献求助

21秒前; null关闭了mengzi921024的文献求助

24秒前; 感动初蓝完成签到，获得积分10

25秒前; null关闭了mengzi921024的文献求助

26秒前; null关闭了mengzi921024的文献求助

29秒前; 落后斌完成签到，获得积分10

29秒前; null完成签到，获得积分0

29秒前; null关闭了刻苦的盼望的文献求助

31秒前; null关闭了刻苦的盼望的文献求助

33秒前; 淡淡的怜翠完成签到，获得积分10

45秒前; 魔术师完成签到，获得积分10

50秒前; 高高的玉兰完成签到，获得积分10

56秒前; 楚科研完成签到，获得积分10

59秒前; ling关闭了ling的文献求助

1分钟前; 称心的忆山完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 白雪完成签到，获得积分10

1分钟前; NexusExplorer上传了应助文件

1分钟前; 难过的傲易发布了新的文献求助10

2分钟前; lxy发布了新的文献求助10

2分钟前; 刻苦绿蕊完成签到，获得积分10

2分钟前; 叶听枫完成签到，获得积分10

2分钟前; CipherSage的应助被Misty采纳，获得10

2分钟前; 喜悦的紫雪完成签到，获得积分10

2分钟前; 忧郁小松鼠完成签到，获得积分10

2分钟前; CipherSage上传了应助文件

2分钟前