First Observation of Ultra-high Polarization (~ 108 μC/cm²) in Nanometer Scaled High Performance Ferroelectric HZO Capacitors with Mo Electrodes

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标题	First Observation of Ultra-high Polarization (~ 108 μC/cm²) in Nanometer Scaled High Performance Ferroelectric HZO Capacitors with Mo Electrodes
网址	https://doi.org/10.23919/vlsitechnologyandcir57934.2023.1018...
DOI	10.23919/vlsitechnologyandcir57934.2023.10185240 doi
其它	期刊：作者：Fei Huang; Balreen Saini; L. Wan; Haidong Lu; Xiao He; et al 出版日期：2023-06-11
求助人	唐太君在 2026-10-06 18:02:53 发布自吉林，悬赏 10 积分
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