A dry development process for vertically tailored hybrid multilayer EUV photoresist: chemical vapor development (CVD) - 科研通

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标题	A dry development process for vertically tailored hybrid multilayer EUV photoresist: chemical vapor development (CVD)
网址	https://doi.org/10.1117/12.3034596
DOI	10.1117/12.3034596 doi
其它	期刊：作者：Ji-Hoo Seok; Jiwon Kim; Hyeonseok Ji; Jaehyuk Lee; Kwang-Sub Yoon; et al 出版日期：2024-11-12
求助人	wzm 在 2026-10-08 15:34:45 发布自中国，悬赏 20 积分
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