Piezoelectric MEMS Microphone Based on Thin-Film PZT on Silicon Substrate

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标题	Piezoelectric MEMS Microphone Based on Thin-Film PZT on Silicon Substrate
网址	http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2024.3421789
DOI	10.1109/JMEMS.2024.3421789 doi
求助人	琪琪琪琪琪在 2026-10-30 09:51:37 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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