| 标题 |
Simulation and Characterization of Capacitively-Coupled Argon Plasma at Intermediate Pressure
相关领域
氩
表征（材料科学）
材料科学
等离子体
分析化学（期刊）
高压
组分（热力学）
气体压力
压力测量
化学
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| 网址 |
AI链接 hal.science |
| DOI |
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| 其它 | Rupali Sahu, Nakul Nuwal, Kallol Bera, Shahid Rauf, Jean-Paul Booth, et al.. Simulation and Characterization of Capacitively-Coupled Argon Plasma at Intermediate Pressure. 77th Annual Gaseous Electronics Conference, APS, Sep 2024, San Diego (CA), United States. ⟨hal-05354540⟩ |
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