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标题
Soft x-ray: novel metrology for 3D profilometry and device pitch overlay
软x射线：用于3D轮廓测量和设备间距覆盖的新型计量
相关领域
计量学 堆栈（抽象数据类型） 临界尺寸 材料科学 光学 平版印刷术 覆盖 计算机科学 光电子学 物理 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1117/12.2658495
DOI
10.1117/12.2658495 doi
其它 期刊：
作者：Christina L. Porter; T.J. Coenen; Niels Geypen; Sandy Scholz; Loes van Rijswijk; et al
出版日期：2023-04-27
求助人
布岩壁 在 2024-10-09 19:36:08 发布自北京，悬赏 20 积分
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  • 7个月前，求助关闭

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  • 7个月前

    布岩壁 布岩壁 Lv21 求助人 发起了本次求助

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