FABRICATION OF ACTIVE THIN FILMS FOR VIBRATION DAMPING IN MEMS DEVICES FOR THE NEXT GENERATION ARMY MUNITION SYSTEMS

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标题	FABRICATION OF ACTIVE THIN FILMS FOR VIBRATION DAMPING IN MEMS DEVICES FOR THE NEXT GENERATION ARMY MUNITION SYSTEMS 用于下一代军火系统MEMS器件的有源阻尼薄膜的制备相关领域微电子机械系统制作振动材料科学弹药工程类计算机科学光电子学机械工程声学物理医学替代医学病理冶金
网址	https://doi.org/10.1142/9789812772572_0032
DOI	10.1142/9789812772572_0032 doi
其它	期刊：作者：E. Ngo; W. D. Northwang; M. W. Cole; C. Hubbard; G. Hirsch; et al 出版日期：2006-11-01
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