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 Effect of bias voltages on microstructure and properties of (TiVCrNbSiTaBY)N high entropy alloy nitride coatings deposited by RF magnetron sputtering 偏压对（TiVCrNbSiTaBY）N高熵合金氮化物涂层组织和性能的影响
相关领域
材料科学
微观结构
合金
溅射沉积
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高功率脉冲磁控溅射
溅射
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光电子学
电压
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工程类
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期刊：Vacuum 作者：Xiangyu Zhang; Vasiliy Pelenovich; Yan Liu; Xianwen Ke; Jun Zhang; et al 出版日期：2021-10-28 |
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