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Effects of ultrasonic amplitude on sapphire ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing by experimental and CFD method
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DOI
10.1080/15376494.2021.1992691 doi
其它 期刊:Mechanics of Advanced Materials and Structures
作者:Mufang Zhou; Min Zhong; Wenhu Xu
出版日期:2021-11-04
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