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  A Study of the Conformal Coating Technique on the 3D Stack Semiconductors Devices 三维叠层半导体器件共形镀膜技术的研究
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期刊：Seimitsu Kōgakkaishi 作者：Yoshiyuki Seike; Motoaki Ohtsubo; Futoshi Shimai; Kenji Maruyama; Hiroyuki Yamamoto; et al 出版日期：2012-01-01 |
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