Multiphysics simulation of non-uniform magnetic fields’ effect on plasma uniformity in capacitively coupled plasmas

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标题	Multiphysics simulation of non-uniform magnetic fields’ effect on plasma uniformity in capacitively coupled plasmas
网址	https://doi.org/10.1116/6.0005370
DOI	10.1116/6.0005370 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Yu-Meng Cui; Ze-Xuan Liu; Si-Bo Zhang; Long Chen; Quan-Zhi Zhang 出版日期：2026
求助人	cuicuicui 在 2026-04-22 16:34:15 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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