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标题
Clean room Airborne Molecular Contamination (AMC) on damascene Cu interconnects
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/4444476/4446780/04446892...
DOI
10.1109/issm.2007.4446892 doi
其它 期刊：2007 International Symposium on Semiconductor Manufacturing
作者：Bill Brennan; Kin Sang Lam; Pete Beckage; Bryon Hance
出版日期：2008-02-11
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1234 在 2026-09-16 15:14:30 发布自北京，悬赏 10 积分
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