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标题
Nonchemically Amplified Resists Enabled by Imide-Modified Poly(styrenesulfonate) Homopolymer with Enhanced Lithography Performance
网址
https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsapm.6c03250
DOI
10.1021/acsapm.6c03250 doi
其它 期刊：ACS Applied Polymer Materials
作者：Yi-Jie Yang; Cheng-Ji Xu; Yi-Peng Zhang; Jian-Jun He; Fei-Chen Cui; et al
出版日期：2026-09-15
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李露露 在 2026-09-19 21:54:14 发布，悬赏 10 积分
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  • 15小时前

    李露露 李露露 Lv4 求助人 发起了本次求助

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