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  Surface roughness analysis of SiO2 for PECVD, PVD and IBD on different substrates 相关领域
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
表面粗糙度
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期刊：Applied Nanoscience 作者：Muhammad Rizwan Amirzada; Andreas Tatzel; Volker Viereck; Hartmut Hillmer 出版日期：2015-03-20 |
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