Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers

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标题	Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2008.07.014
DOI	10.1016/j.tsf.2008.07.014 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：G.C.A.M. Janssen; M.M. Abdalla; F. van Keulen; B.R. Pujada; B. van Venrooy 出版日期：2009-01-01
求助人	蜡笔小哐在 2026-07-19 13:16:43 发布自广西，悬赏 10 积分
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