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Investigating different carbon-based target materials: Can we improve ionization in HiPIMS for the deposition of diamondlike carbon films?
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00033...
DOI
10.1116/6.0003333 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：M. Fenker; M. Balzer; Holger Kaßner
出版日期：2024-05-06
求助人
fz 在 2026-09-11 17:20:02 发布自安徽，悬赏 10 积分
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