Simulation and optimization of the atomic layer deposition process in high aspect ratio substrates

已完结

文献求助详情

标题	Simulation and optimization of the atomic layer deposition process in high aspect ratio substrates
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.ces.2026.124594
DOI	10.1016/j.ces.2026.124594 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Science 作者：Huihui Ping; Hangbo Zhang; Yingping Yan; Junwen Wu; Guohao Chen; et al 出版日期：2026-12-01
求助人	大胆的涵柏在 2026-08-26 21:21:27 发布自四川，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: nader发布了新的文献求助10

8秒前; 正直的晋鹏完成签到，获得积分10

8秒前; TONG完成签到，获得积分10

16秒前; 17完成签到，获得积分20

24秒前; CipherSage的应助被fa采纳，获得20

28秒前; 炜大的我上传了应助文件

28秒前; 郎吟上邪关闭了郎吟上邪的文献求助

39秒前; 跳跳虎完成签到，获得积分10

39秒前; 酷波er的应助被试试采纳，获得30

1分钟前; 高兴的小天鹅完成签到，获得积分10

1分钟前; 充电宝的应助被zz采纳，获得10

1分钟前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

1分钟前; mi发布了新的文献求助10

1分钟前; 陈陈完成签到，获得积分10

1分钟前; 充电宝上传了应助文件

1分钟前; pppcpppdpppy完成签到，获得积分10

1分钟前; 研友_VZG7GZ的应助被nader采纳，获得10

1分钟前; zz发布了新的文献求助10

1分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

1分钟前; 林妮完成签到，获得积分10

1分钟前; 深情安青的应助被大气的凡霜采纳，获得10

1分钟前; 炜大的我上传了应助文件

1分钟前; 小美发布了新的文献求助10

1分钟前; zihang完成签到，获得积分20

2分钟前; 悲凉的丝完成签到，获得积分10

2分钟前; 和风完成签到，获得积分10

2分钟前; 852上传了应助文件

2分钟前; 守望发布了新的文献求助30

2分钟前; Leofz_KF上传了应助文件

2分钟前; 酷波er上传了应助文件

2分钟前; 郎吟上邪发布了新的文献求助10

2分钟前; 深情安青上传了应助文件

2分钟前; 试试发布了新的文献求助30

2分钟前; 迷人觅夏完成签到，获得积分10

2分钟前; 大气的凡霜发布了新的文献求助10

2分钟前; 端庄的如松完成签到，获得积分10

2分钟前; 炜大的我上传了应助文件

2分钟前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 汉堡包的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 思源的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前