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Demonstration of High-Growth-Rate Epitaxially Grown Si Channel on 3D NAND Test Vehicle with Memory Functionality
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DOI
10.1109/imw59701.2024.10536938 doi
其它 期刊:2024 IEEE International Memory Workshop (IMW)
作者:Hao-Ling Tang; Insoo Jung; Frank CC Chin; Luc Thomas; Xin Meng; et al
出版日期:2024-05-25
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scihuvb 在 2026-09-21 09:52:35 发布自上海,悬赏 10 积分
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