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Demonstration of High-Growth-Rate Epitaxially Grown Si Channel on 3D NAND Test Vehicle with Memory Functionality 相关领域
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期刊:2024 IEEE International Memory Workshop (IMW) 作者:Hao-Ling Tang; Insoo Jung; Frank CC Chin; Luc Thomas; Xin Meng; et al 出版日期:2024-05-25 |
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