Surface chemical mechanisms of trimethyl aluminum in atomic layer deposition of AlN

待确认

文献求助详情

标题	Surface chemical mechanisms of trimethyl aluminum in atomic layer deposition of AlN
网址	http://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2023/TC/D3TC02328A
DOI	10.1039/d3tc02328a doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Karl Rönnby; Henrik Pedersen; Lars Ojamäe 出版日期：2023-09-26
求助人	自己在 2026-08-28 15:29:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
9小时前

李健 Lv11 上传了文件

待审核 d3tc02328a.pdf (2.19 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
9小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:29:37 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:29:33 科研通AI机器人（日本东京）收到请求，开始寻找文献

15:29:33 已向机器人发送请求
9小时前

自己 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 闪闪的硬币完成签到，获得积分10

6秒前; Owen上传了应助文件

9秒前; 隐形曼青上传了应助文件

9秒前; 褶皱海狮完成签到，获得积分10

9秒前; liuerlong完成签到，获得积分10

10秒前; 科研通AI6.2的应助被可靠寒香采纳，获得10

10秒前; 心中完成签到，获得积分10

10秒前; 淡淡醉波wuliao完成签到，获得积分10

11秒前; gjww发布了新的文献求助30

14秒前; ma发布了新的文献求助30

14秒前; Zen完成签到，获得积分10

14秒前; 杨y123发布了新的文献求助10

15秒前; cbp560完成签到，获得积分10

15秒前; 整齐的乐驹完成签到，获得积分10

16秒前; HJJHJH发布了新的文献求助10

16秒前; ma完成签到，获得积分10

20秒前; chen完成签到，获得积分10

20秒前; shuiyu完成签到，获得积分10

22秒前; 英俊的铭的应助被海尔森肯威采纳，获得10

22秒前; lay完成签到，获得积分20

23秒前; ver完成签到，获得积分10

23秒前; 王王王老蛋关闭了王王王老蛋的文献求助

27秒前; 个性的冬亦完成签到，获得积分10

28秒前; 长风cc完成签到，获得积分10

33秒前; 年轻花卷完成签到，获得积分10

34秒前; gjww发布了新的文献求助30

35秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

38秒前; 可爱登完成签到，获得积分10

38秒前; HJJHJH完成签到，获得积分10

39秒前; 可靠寒香发布了新的文献求助10

52秒前; 甜点再来一块完成签到，获得积分10

57秒前; 离言完成签到，获得积分10

58秒前; 科研通AI6.4的应助被江子川采纳，获得10

1分钟前; Ava的应助被rachel采纳，获得10

1分钟前; 英俊的铭上传了应助文件

1分钟前; 执着的立果完成签到，获得积分10

1分钟前; 海尔森肯威发布了新的文献求助10

1分钟前; 灵巧的朝雪完成签到，获得积分10

1分钟前; 洛黎发布了新的文献求助10

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被江子川采纳，获得10

1分钟前