Extreme silicon thinning for back side power delivery network: Si thinning stopping on scaled SiGe etch stop layer

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标题	Extreme silicon thinning for back side power delivery network: Si thinning stopping on scaled SiGe etch stop layer
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793172...
DOI	10.1016/j.mee.2024.112246 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：F. Sebaai; R. Loo; A. Jourdain; Eric Beyne; Hikaru Kawarazaki; et al 出版日期：2024-01-01
求助人	wei0117 在 2026-07-27 01:00:44 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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