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Blistering kinetics in H-implanted 4H-SiC for large-area exfoliation H注入4H-SiC大面积剥离的起泡动力学
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期刊:Current Applied Physics 作者:Madan Sharma; Kamal Soni; Ashutosh Kumar; Tadakatsu Ohkubo; A. K. Kapoor; et al 出版日期:2021-08-30 |
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