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CFD simulation of CVD reactors in the CH3SiCl3(MTS)/H2 system using a two-step MTS decomposition and one-step SiC growth models
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网址
https://doi.org/10.1016/j.heliyon.2023.e15061
DOI
10.1016/j.heliyon.2023.e15061 doi
其它 期刊：Heliyon
作者：Tatsuya Ogawa; Kazui Fukumoto; Hiroshi Machida; Koyo Norinaga
出版日期：2023
求助人
ava 在 2026-02-06 13:41:38 发布自重庆，悬赏 10 积分
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