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 A MEMS-based magnetic field sensor with simple resonant structure and linear electrical response 相关领域
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Agustín L. Herrera‐May; Miguel Lara-Castro; Francisco López-Huerta; Petros Gkotsis; Jean‐Pierre Raskin; et al 出版日期：2015-07-01 |
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