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 The Impacts of Cesl and STI Mechanical Stress Effect on Device Performance for UTBB FD-SOI MOSFET Cesl和STI机械应力效应对UTBB FD-SOI MOSFET器件性能的影响
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期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Byung-eun Yun; YK Hong; Young-sang Jung; Youngmok Kim; Jin‐Hong Park; et al 出版日期：2020-11-23 |
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