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标题
Equilibrium and non-equilibrium heating in plasma-based deposition of thin films and coatings
等离子体基薄膜和涂层沉积中的平衡和非平衡加热
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2025.132946
DOI
10.1016/j.surfcoat.2025.132946 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：André Anders
出版日期：2025-11-01
求助人
quasar 在 2025-12-05 21:08:38 发布自广东，悬赏 10 积分
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