Effects of sputtering pressure on microstructure and mechanical properties of ZrN films deposited by magnetron sputtering

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标题	Effects of sputtering pressure on microstructure and mechanical properties of ZrN films deposited by magnetron sputtering 溅镀压力对磁溅镀ZrN薄膜显微结构和力学性能的影响相关领域氮化锆材料科学微观结构溅射纳米压痕纳米晶材料溅射沉积结晶度复合材料扫描电子显微镜表面粗糙度弹性模量氮化物薄膜冶金图层（电子）氮化钛纳米技术
网址	https://doi.org/10.1016/j.materresbull.2018.04.054
DOI	10.1016/j.materresbull.2018.04.054 doi
其它	期刊：Materials Research Bulletin 作者：Shaochen Lin; Jian Zhang; Ruihua Zhu; Shangchao Fu; Daqin Yun 出版日期：2018-05-03
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