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标题
Tungsten silicide formation from sequentially sputtered tungsten and silicon films
相关领域
硅化物 钨 材料科学 退火（玻璃） 硅 溅射 薄板电阻 电阻率和电导率 冶金 锡 薄膜 纳米技术 图层（电子） 电气工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/0169-4332(91)90290-z
DOI
10.1016/0169-4332(91)90290-z doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：J. M. Molarius; Sami Franssila; G. Drozdy; Jaakko Saarilahti
出版日期：1991-11-01
求助人
害怕的小玉 在 2025-10-25 22:26:57 发布自福建，悬赏 10 积分
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