Silicon oxynitride based scratch resistant anti-reflective coatings

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标题	Silicon oxynitride based scratch resistant anti-reflective coatings 相关领域刮擦材料科学氮化硅折射率溅射沉积缩进图层（电子）硅反射率复合材料溅射涂层光电子学薄膜光学纳米技术氮化硅物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.2303679
DOI	10.1117/12.2303679 doi
其它	期刊：作者：Jue Wang; Jonathan Bouchard; Gary A. Hart; Jean Francois Oudard; C. A. Paulson; et al 出版日期：2018-05-08
求助人	莫石榴在 2025-10-28 18:14:18 发布自湖北，悬赏 20 积分
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