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标题
Synthesis of copolymer containing anthracene group and its application in bottom anti-reflective coatings for KrF photoresist
含蒽基共聚物的合成及其在KrF光刻胶底部增透膜中的应用
相关领域
光刻胶 材料科学 共聚物 蒽 群（周期表） 抵抗 纳米技术 化学工程 聚合物 光化学 复合材料 有机化学 图层（电子） 化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.porgcoat.2024.109002
DOI
10.1016/j.porgcoat.2024.109002 doi
其它 期刊：Progress in Organic Coatings
作者：Yajun Xu; Jialong Zhang; Xiangfei Zheng; Liang Xu; Jingcheng Liu
出版日期：2024-12-12
求助人
饭饭 在 2025-09-06 11:47:07 发布自湖南，悬赏 10 积分
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