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Deposition and Characterization of Nanocrystalline Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films by DC Reactive Magnetron Sputtering 相关领域
纳米晶材料
溅射
X射线光电子能谱
无定形固体
材料科学
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期刊:Advanced materials research 作者:S. Prasanna; Biji Pullithadathil; G. Mohan Rao; M.D. Kannan; S. Jayakumar 出版日期:2013-03-01 |
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