Grazing‐incidence x‐ray photoemission spectroscopy and the accuracy of thickness measurements of CMOS gate dielectrics

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标题	Grazing‐incidence x‐ray photoemission spectroscopy and the accuracy of thickness measurements of CMOS gate dielectrics 相关领域 X射线光电子能谱材料科学光离子化电介质折射率光谱学光学光电发射光谱学折射分析化学（期刊）光电子学化学物理电离核磁共振量子力学色谱法离子有机化学
网址	https://doi.org/10.1002/sia.1108.abs
DOI	10.1002/sia.1108.abs doi
其它	期刊：Surface and Interface Analysis 作者：Terrence Jach; Eric Landree 出版日期：2001-08-01
求助人	开放思雁在 2025-10-13 20:02:22 发布自河南，悬赏 10 积分
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